瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

瑞士Gotec真空泵EKF17-60是一款高性能的真空泵，廣泛應(yīng)用于工業(yè)和科研領(lǐng)域。其工作原理基于旋片式真空泵的機(jī)制，通過機(jī)械運(yùn)動實現(xiàn)高效的氣體抽吸和真空環(huán)境的建立

一、工作原理
（一）旋片運(yùn)動與泵腔容積變化
EKF17-60真空泵的核心部件是一個偏心安裝的轉(zhuǎn)子和若干彈性旋片。轉(zhuǎn)子在電機(jī)的驅(qū)動下高速旋轉(zhuǎn)，旋片在離心力和彈簧力的共同作用下，始終與泵腔內(nèi)壁保持緊密接觸。這種設(shè)計將泵腔分割成多個獨(dú)立的抽氣單元，其容積隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而周期性變化。
吸氣階段：當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片向外移動，泵腔容積增大，形成負(fù)壓，氣體通過進(jìn)氣口被吸入泵腔。
壓縮階段：隨著轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，旋片向內(nèi)移動，泵腔容積減小，氣體被壓縮，壓力升高。
排氣階段：當(dāng)氣體被壓縮到一定程度后，通過排氣口排出泵外。
（二）無油設(shè)計與清潔真空
EKF17-60采用無油設(shè)計，避免了傳統(tǒng)油封真空泵中潤滑油對真空環(huán)境的污染。這種設(shè)計特別適用于對真空清潔度要求較高的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、電子管生產(chǎn)等領(lǐng)域。
（三）高效能與低噪音運(yùn)行
該真空泵通過優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)和電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)，實現(xiàn)了高效率的氣體抽吸和低噪音運(yùn)行。其運(yùn)行過程平穩(wěn)，振動小，適合長時間連續(xù)工作。
二、技術(shù)特點(diǎn)
（一）高真空度與大抽速
EKF17-60能夠在較寬的壓力范圍內(nèi)提供較大的抽速，極限真空度可達(dá)1×10?3Pa。這使其能夠快速建立真空環(huán)境，滿足多種工業(yè)和科研需求。
（二）低噪音與緊湊設(shè)計
該真空泵運(yùn)行時噪音極低，結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，便于安裝和集成到各種設(shè)備中。
（三）耐用性強(qiáng)
采用高品質(zhì)材料和精密制造工藝，EKF17-60具有較長的使用壽命和較高的可靠性。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
EKF17-60真空泵適用于多種需要高真空環(huán)境的場合，包括但不限于：
半導(dǎo)體制造：用于光刻、蝕刻等工藝。
電子管生產(chǎn)：提供清潔的真空環(huán)境。
科研實驗：用于物理、化學(xué)實驗中的真空需求。
工業(yè)生產(chǎn)：如真空干燥、真空蒸餾等。

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